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應(yīng)用領(lǐng)域:
GKS系列擴(kuò)散爐主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的擴(kuò)散、氧化工藝,同時也用于石英制品的退火、稀有金屬粉末和發(fā)光材料的煅燒等工藝。
主要特點:
1、采用高純石英管作為內(nèi)爐膛,具有優(yōu)良的潔凈度。
2、全部采用超輕質(zhì)的陶瓷纖維制品耐火保溫,整機(jī)結(jié)構(gòu)小、能耗低、升溫快。
3、加熱元件采用真空吸濾成型的陶瓷纖維加熱器(FEC),響應(yīng)快、效率高、壽命長。
4、溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制,具有良好的穩(wěn)定性和一致性。
設(shè)備型號: | GKS(D)-09/90/3 | GKS(D)-18/110/3 | GKS(S)-09/90/3 | GKS(S)-18/110/3 | ||
最高溫度: | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | ||
使用溫度: | RT~1000℃ | RT~1000℃ | RT~1000℃ | RT~1000℃ | ||
控制精度: | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ||
溫區(qū)個數(shù): | 3個 | 3個 | 6個 | 6個 | ||
爐管材質(zhì): | 高純石英 | 高純石英 | 高純石英 | 高純石英 | ||
發(fā)熱元件: | Kanthal電阻絲 | Kanthal電阻絲 | Kanthal電阻絲 | Kanthal電阻絲 | ||
加熱區(qū)長度: | 900mm | 1100mm | 900mm | 1100mm | ||
爐管尺寸: | Ф90×1800 | Ф180×2100 | Ф90×1800 | Ф180×2100 | ||
加熱功率: | 7.5Kw | 15Kw | 15Kw | 30Kw | ||
GCVD-o/o/o | Z | 真空系統(tǒng):單級機(jī)械泵 | ||||
Q | 氣氛系統(tǒng):浮子流量計、質(zhì)量流量計 | |||||
J | 記錄系統(tǒng);觸摸屏記錄、無紙記錄儀 | |||||
更多規(guī)格可以根據(jù)工藝需求定制 |
展會翌日,華章再續(xù)。往來商客,絡(luò)繹不絕。交流凝聚行業(yè)共識,研討促進(jìn)合作意向。思想火花激情碰撞,靈感創(chuàng)意一觸即發(fā)。高歌團(tuán)隊繼續(xù)等待您的垂詢。期待與您一路繁花一路歌,攜手同行向未來!
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